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陳鈞煜

概要

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書目資訊

調控低電位沉積層狀製備下世代Co(Ru)合金連導線薄膜 = = Fabrication of Co(Ru) Interconnect Thin Film by Manipulating Monolayer Underpotential Deposition / by: 陳鈞煜 (書目-語言資料,印刷品)

主題

電化學原子層沉積. Co(Ru) alloy films. Interconnects. Underpotential Deposition. EC-ALD. 低電位沉積. 鈷釕合金薄膜. 連導線.

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