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主題
陳鈞煜
概要
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書目資訊
調控低電位沉積層狀製備下世代Co(Ru)合金連導線薄膜 = = Fabrication of Co(Ru) Interconnect Thin Film by Manipulating Monolayer Underpotential Deposition /
by: 陳鈞煜
(書目-語言資料,印刷品)
主題
電化學原子層沉積.
Co(Ru) alloy films.
Interconnects.
Underpotential Deposition.
EC-ALD.
低電位沉積.
鈷釕合金薄膜.
連導線.
處理中
...
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