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詹鈞能

概要

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書目資訊

微中含量釕摻雜對於共濺鍍鈷釕合金薄膜特性 = = The Effect of Micro to Moderate Ruthenium Content on the Properties of Co-Sputtered Cobalt-Ruthenium Alloy Films / by: 詹鈞能 (書目-語言資料,印刷品)

主題

magnetron Co-Sputtering. TiWN barrier layers. 鈷釕合金薄膜. 氮化鈦鎢阻障層. 連導線. 磁控共濺鍍. cobalt-ruthenium alloys. interconnects.

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