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郭映琦

概要

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書目資訊

透過控制鈷和釕的低電位沉積在TiSi2上逐層沉積鈷釕合金薄膜 = = Layer-by-layer deposition of Co(Ru) Films on TiSi2 Substrate by Sequentially Manipulating Underpotential Deposition of Co and Ru / by: 郭映琦 (書目-語言資料,印刷品)

主題

Co(Ru) alloy thin films. EC-ALD. Interconnects. Underpotential Deposition. 低電位沉積. 半導體互連導線. 鈷釕合金薄膜. 電化學原子層沉積.

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