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盧婉惠

概要

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書目資訊

以原子層置換法實現微量摻雜銅之鈷合金薄膜特性 = = Characteristics of Cobalt Alloy Thin Films with Trace Copper Doping via Atomic Layer Replacement Method / by: 盧婉惠 (書目-語言資料,印刷品)

主題

Co-Cu Alloy Thin Film. Electrochemical Atomic Layer Deposition. Interconnects. Trace Doping. Underpotential Deposition. 低電位沉積. 微量摻雜. 表面侷限氧化還原置換. 連導線. 鈷銅合金薄膜. 電化學原子層沉積.

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