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半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 = = Optimizing th...

李建霖

半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 = = Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 =/ 李建霖.
其他題名:	Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process /
其他題名:	Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process.
作者:	李建霖
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民110.08.,
面頁冊數:	[7], 46葉 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 陳文瑞.
標題:	N2O. -
電子資源:	電子資源

半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 = = Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process /
李建霖

半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 =Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process /Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process.李建霖. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民110.08. - [7], 46葉 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 陳文瑞.

碩士論文--國立虎尾科技大學光電工程系光電與材料科技碩士在職專班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

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N2O.

半導體製程特氣氧化亞氮的裂解效率優化 = = Optimizing the Decomposing Efficiency of the Nitrous Oxide Gas Generated in the Semiconductor Process /
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500 $a 指導教授: 陳文瑞.
500 $a 學年度: 109.
502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電工程系光電與材料科技碩士在職專班.
504 $a 含參考書目.
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