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以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 = = Deposition...

李旻穎

以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 = = Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 =/ 李旻穎.
Reminder of title:	Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering /
remainder title:	Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering.
Author:	李旻穎
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民112.11.,
Description:	[10], 59面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授: 李炤佑, 郭晉全.
Subject:	氮化鈦鋯. -
Online resource:	電子資源

以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 = = Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering /
李旻穎

以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 =Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering /Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering.李旻穎. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民112.11. - [10], 59面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 李炤佑, 郭晉全.

碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士在職專班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1433908
氮化鈦鋯.

以雙靶高功率脈衝磁控濺鍍共沉積氮化鈦鋯薄膜 = = Deposition of Titanium Zirconium Nitride Thin Films by Using Dual-Cathode High Power Impulsed Magnetron Sputtering /
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500 $a 指導教授: 李炤佑, 郭晉全.
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502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士在職專班.
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