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鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 = = Applica...

葉咨儀

鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 = = Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 =/ 葉咨儀.
其他題名:	Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors /
其他題名:	Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors.
作者:	葉咨儀
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民113.07.,
面頁冊數:	[9], 94面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 水瑞鐏.
標題:	鎂. -
電子資源:	電子資源

鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 = = Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors /
葉咨儀

鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 =Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors /Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors.葉咨儀. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民113.07. - [9], 94面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 水瑞鐏.

碩士論文--國立虎尾科技大學電子工程系碩士班.

含參考書目.

本論文鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片於表面聲波之紫外光感測，以黃光微影製程於鈮酸鋰(LiNbO3) 64˚Y切面基板上沉積線寬10微米鋁金屬指叉狀電極，利用射頻磁控濺鍍法濺鍍鎂摻雜氧化鋅(ZnO)薄膜，並在氧化鋅薄膜上使用水熱法成長鎂摻雜奈米片，製作成表面聲波元件並應用於紫外光感測器。本文在其氧化鋅薄膜以及奈米片摻雜不同濃度的鎂來加強元件對紫外光的靈敏度，並透過場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM) 、能量散步光譜儀(EDS)以及向量網路分析儀(VNA)來觀察氧化鋅薄膜與奈米片的表面形態及晶體結構分析與紫外光的靈敏度。本文主要探討不同的薄膜厚度以及不同濃度的鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片並成長於64˚Y切面鈮酸鋰基板，來研究紫外光對元件的插入損耗、中心頻率與相位的影響。其中2.3 mol%鎂摻雜氧化鋅薄膜厚度1 μm上成長鎂摻雜氧化鋅奈米片濃度0.8 mol%表現出最優的靈敏度94412 ppm(mW/cm2)-1。.

(平裝)Subjects--Topical Terms:

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鎂.

鎂摻雜氧化鋅薄膜與奈米片應用於拉芙波紫外光檢測器 = = Application of Mg-doped ZnO thin films and nanosheets in Love wave ultraviolet photodetectors /
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520 3 $a Magnesium-doped zinc oxide (ZnO) films and nanosheets were deposited on 64˚ Y-cut lithium niobate (LiNbO3) substrates for surface acoustic wave ultraviolet sensor application. Aluminum metal interdigital electrodes with line width of 10 μm were deposited on LiNbO3 substrates using photolithography process, and then deposited the magnesium-doped ZnO film via radio frequency magnetron sputtering method. Magnesium-doped nanosheets were grown on the ZnO thin films using hydrothermal method. We doped different concentrations of magnesium in zinc oxide films and nanosheets to enhance the ultraviolet sensitivity of the devices. The surface morphology and crystal structure of zinc oxide films and nanosheets were examined by X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy (FE-SEM), and energy dispersion spectroscopy (EDS). The sensitivity of ultraviolet were measured through vector network analyzer (VNA). The effects of different thicknesses of films and concentrations of magnesium-doped for ZnO films and nanosheets on devices ultraviolet sensitivities were discussed in this article. The results show 0.8 mol% magnesium-doped ZnO nanosheets grown on 1 μm-thick ZnO film with 2.3 mol% magnesium doped having the best sensitivity 94412 ppm(mW/cm2)-1..
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