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以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 = = Depo...

林煜喆

以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 = = Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 =/ 林煜喆.
其他題名:	Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering /
其他題名:	Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering.
作者:	林煜喆
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民114.05.,
面頁冊數:	[12], 104面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 劉文忠, 郭晉全.
標題:	高功率脈衝磁控濺鍍. -
電子資源:	電子資源

以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 = = Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering /
林煜喆

以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 =Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering /Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering.林煜喆. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民114.05. - [12], 104面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 劉文忠, 郭晉全.

博士論文--國立虎尾科技大學動力機械工程系機械與機電工程博士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1026675
高功率脈衝磁控濺鍍.

以閉磁場異質雙陰極高功率脈衝磁控濺鍍製備合金薄膜之研究 = = Deposition of alloy films synthesized using the closed magnetic field heterogeneous dual-cathodes high-power impulse magnetron sputtering /
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