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金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 = = Structure and e...

劉冠廷

金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 = = Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 =/ 劉冠廷.
其他題名:	Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides /
其他題名:	Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides.
作者:	劉冠廷
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民114.07.,
面頁冊數:	[13], 105面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 方昭訓.
標題:	金屬矽化物. -
電子資源:	電子資源

金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 = = Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides /
劉冠廷

金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 =Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides /Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides.劉冠廷. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民114.07. - [13], 105面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 方昭訓.

碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

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金屬矽化物.

金屬矽化物之結構與電阻率尺寸效應 = = Structure and electrical resistivity size effect of metal silicides /
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500 $a 指導教授: 方昭訓.
500 $a 學年度: 113.
502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.
504 $a 含參考書目.
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650 # 4 $a 尺寸效應. $3 1489888
650 # 4 $a CMOS製程節點. $3 1489889
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