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VLSI製造技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	莊達人,
Place of Publication:	臺北市
Published:	新科技總經銷; 高立出版;
Year of Publication:	民87
Edition:	修訂四版
Description:	[15],607面圖 : 23公分;
Subject:	積體電路 - 製造 -
ISBN:	9575843274

VLSI製造技術
莊, 達人

VLSI製造技術 / 莊達人編著 - 修訂四版. - 臺北市 : 新科技總經銷, 民87. - [15],607面 ; 圖 ; 23公分.
含參考書目.
ISBN 9575843274
積體電路 -- 製造

VLSI製造技術
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320 $a 附錄:電漿等5種
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