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五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Dev...

Wen-Yuh Jywe

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
Author:	鄧雲峰,
Secondary Intellectual Responsibility:	覺文郁,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學; 國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	2004,民93
Edition:	初版
Description:	107 面圖 : 30公分;
Series:	動力機械工程研究所
Subject:	壓電致動器
Subject:	微動平台
Subject:	雷射干涉儀
Subject:	電容式探頭
Subject:	PZT
Subject:	capacitive position sensors
Subject:	flexible Hinges
Subject:	interferometer
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0202105-143510
Notes:	全文電子檔使用校內校外均不公開

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
鄧, 雲峰

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano / 鄧雲峰 ; 覺文郁指導 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 2004,民93. - 107 面 ; 圖 ; 30公分. - (動力機械工程研究所).
全文電子檔使用校內校外均不公開畢業學年度:92指導教授:覺文郁.
壓電致動器微動平台雷射干涉儀電容式探頭PZTcapacitive position sensorsflexible Hingesinterferometer

覺, 文郁

五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 = The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano
LDR:01515cam0 2200349 450 001 497895
010 0 $b (平裝) $d 新臺幣元
100 $a 20070530d2004 m y0chib09 e
101 0 $a chi
102 $a cw
105 $a a z 000zy
200 1 $a 五自由度微動平台之建構與奈米級雙軸循軌量測系統之研發 $d The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Heavy-Loading Machining Process and a New Nano $f 鄧雲峰 $g 覺文郁指導
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $c 國立虎尾科技大學 $d 2004,民93 $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 107 面 $c 圖 $d 30公分
225 2 $a 動力機械工程研究所 $i 碩士論文
300 $a 全文電子檔使用校內校外均不公開
300 $a 畢業學年度:92
300 $a 指導教授:覺文郁 $u Thesis advisor:Wen-Yuh Jywe
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學動力機械工程研究所
410 0 $1 2001 $a 動力機械工程研究所 $i 碩士論文
510 1 $a The Developments of Flexure Hinge Based Stack-Type 5 DOF Nanometer-Scale Stage for a Hea $z eng
610 0 $a 壓電致動器
610 0 $a 微動平台
610 0 $a 雷射干涉儀
610 0 $a 電容式探頭
610 1 $a PZT
610 1 $a capacitive position sensors
610 1 $a flexible Hinges
610 1 $a interferometer
681 $a 008.154 $b 1712
700 $a 鄧 $b 雲峰 $3 490288
702 $a 覺 $b 文郁 $4 指導 $3 487883
772 $a Wen-Yuh Jywe $3 530578
801 0 $a cw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20070530 $g CCR
856 7 $u http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0202105-143510