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電子槍蒸鍍系統製程參數及修正板對膜厚均勻度之影響 = Effects o...

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電子槍蒸鍍系統製程參數及修正板對膜厚均勻度之影響 = Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity
Author:	李俊雄,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立虎尾科技大學
Place of Publication:	[雲林縣]
Published:	撰者; 撰者;
Year of Publication:	民96[2007]
Description:	60面圖,表 : 30公分;
Subject:	電子槍蒸鍍
Subject:	Correction Plate in E-beam System
Online resource:	http://140.130.12.251/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0130107-161532
Summary:	對於光學薄膜而言其光學特性受厚度均勻的影響非常敏感，尤其在大面積光學鍍膜中，厚度均勻性更顯得相當重要，在製鍍過程中如何使基板上之膜厚均勻分佈，而達成改善厚度分佈均勻之目標，將是本論文討論的重點。論文研究的主題涵蓋以下：鍍5組多層膜，校正求出蒸鍍Ti3O5及SiO2之「平均蒸發時間」製程參數。首先不使用修正板來製鍍多層膜結構﹝膜堆厚度組合1.196(0.5LH0.5L)^9 1.56(0.5LH0.5L)^8﹞ 之濾光片，結果發現膜厚均勻度不佳。因此增加修正板來調整膜厚均勻度。修正板從Ti3O5及SiO2單層膜厚調校做起。實驗結果所獲得的膜厚誤差為2nm。接著製作多層膜濾光片，實驗結果顯示：針對穿透率T=50

電子槍蒸鍍系統製程參數及修正板對膜厚均勻度之影響 = Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity
李, 俊雄

電子槍蒸鍍系統製程參數及修正板對膜厚均勻度之影響 = Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity / 李俊雄撰 - [雲林縣] : 撰者, 民96[2007]. - 60面 ; 圖,表 ; 30公分.
參考書目：面.
電子槍蒸鍍Correction Plate in E-beam System

電子槍蒸鍍系統製程參數及修正板對膜厚均勻度之影響 = Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity
LDR:01824nam0 2200229 450 001 540281
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210 $a [雲林縣] $c 撰者 $d 民96[2007] $c 撰者
215 0 $a 60面 $c 圖,表 $d 30公分
314 $a 指導教授：莊賦祥
320 $a 參考書目：面
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
330 $a 對於光學薄膜而言其光學特性受厚度均勻的影響非常敏感，尤其在大面積光學鍍膜中，厚度均勻性更顯得相當重要，在製鍍過程中如何使基板上之膜厚均勻分佈，而達成改善厚度分佈均勻之目標，將是本論文討論的重點。論文研究的主題涵蓋以下：鍍5組多層膜，校正求出蒸鍍Ti3O5及SiO2之「平均蒸發時間」製程參數。首先不使用修正板來製鍍多層膜結構﹝膜堆厚度組合1.196(0.5LH0.5L)^9 1.56(0.5LH0.5L)^8﹞ 之濾光片，結果發現膜厚均勻度不佳。因此增加修正板來調整膜厚均勻度。修正板從Ti3O5及SiO2單層膜厚調校做起。實驗結果所獲得的膜厚誤差為2nm。接著製作多層膜濾光片，實驗結果顯示：針對穿透率T=50
510 1 $a Effects of Experimental Parameters and Correction Plate in E-beam System on the Film Thickness Uniformity
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712 $a 國立虎尾科技大學 $b 工業工程與管理究所 $3 523742
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