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二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-...

Hung-Kuang Chen

二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
Author:	陳宏光,
Secondary Intellectual Responsibility:	覺文郁,
Secondary Intellectual Responsibility:	劉建宏,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民97[2008]
Edition:	初版
Description:	78面圖 : 30公分;
Subject:	光學尺
Subject:	光柵
Subject:	奈米壓印
Subject:	對位
Subject:	晶圓
Subject:	alignment
Subject:	grating
Subject:	linear encoder
Subject:	nano-imprint
Subject:	wafer
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3007200811473200

二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
陳, 宏光

二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system / 陳宏光撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民97[2008]. - 78面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
光學尺光柵奈米壓印對位晶圓alignmentgratinglinear encodernano-imprintwafer

覺, 文郁

二自由度對位量測系統開發 = Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
LDR:01152nam0 2200337 450 001 549198
010 0 $b 平裝
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200 1 $a 二自由度對位量測系統開發 $d Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system $f 陳宏光撰
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210 $a 雲林縣 $d 民97[2008] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 78面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 覺文郁、劉建宏
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所
510 1 $a Development of a two-degree-of-freedom alignment measurement system
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801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081111
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081230
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