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薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術 : 電子資源

谷至華

薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術 : 電子資源

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Title Information:	電子資源
Author:	谷至華
Place of Publication:	上海
Published:	復旦大學出版社;
Year of Publication:	2007
Subject:	薄膜晶體管 -
Online resource:	http://ttec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20071025%2dm006%2dw011%2d072
Summary:	全書共13章，從TFT元件的結構及特點，到TFT檢查與修復，包括TFT陣列製作清洗工藝、成膜工藝、光刻工藝、不良解析和檢查修復。本書從TFT陣列大規模製造的角度，第一次比較全面地介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術、工藝參數、生產工藝技術管理、工藝材料規格、設備特性、品質控制、產品技術解析;以工藝原理、設備參數控制、材料特性要求、生產工藝文件要求等大規模生產技術要素為核心，比較完整地介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理。
ISBN:	9787309056556

薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術 : 電子資源
谷至華

薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術 : 電子資源 / 谷至華編著 - 上海 : 復旦大學出版社, 2007.
ISBN 9787309056556
薄膜晶體管

薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術 : 電子資源
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330 $a 全書共13章，從TFT元件的結構及特點，到TFT檢查與修復，包括TFT陣列製作清洗工藝、成膜工藝、光刻工藝、不良解析和檢查修復。本書從TFT陣列大規模製造的角度，第一次比較全面地介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術、工藝參數、生產工藝技術管理、工藝材料規格、設備特性、品質控制、產品技術解析;以工藝原理、設備參數控制、材料特性要求、生產工藝文件要求等大規模生產技術要素為核心，比較完整地介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理。
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