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集成電路工藝中的化學品
~
戴猷元
集成電路工藝中的化學品
Record Type:
Language materials, printed : monographic
Author:
戴猷元
Alternative Intellectual Responsibility:
張瑾
Place of Publication:
北京
Published:
化學工業出版社;
Year of Publication:
2007
Subject:
化工產品 -
Online resource:
http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20080104%2dm000%2dw011%2d001
Summary:
本書系統提供了集成電路製造過程中用到的化學品的使用性能, 毒性及安全等方面的信息. 內容包括序言, 薄膜制備技術及化學品, 晶片清洗技術及化學品, 光刻技術及化學品等.
ISBN:
9787502599348
集成電路工藝中的化學品
戴猷元
集成電路工藝中的化學品
/ 戴猷元, 張瑾編 - 北京 : 化學工業出版社, 2007.
ISBN 9787502599348
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張瑾
集成電路工藝中的化學品
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本書系統提供了集成電路製造過程中用到的化學品的使用性能, 毒性及安全等方面的信息. 內容包括序言, 薄膜制備技術及化學品, 晶片清洗技術及化學品, 光刻技術及化學品等.
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