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MEMS可靠性
~
宋競
MEMS可靠性
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
T
其他作者:
宋競
出版地:
南京
出版者:
東南大學出版社;
出版年:
2009
標題:
微電子技術 -
電子資源:
http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20090805%2dm802%2dw084%2d013
摘要註:
本書分為兩部份. 第一部份論述MEMS材料的可靠性內容及主要表徵方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微納壓痕儀, 鼓脹測試, 彎曲測試, 單軸張應力測試, 片上測試; 第二部份論述MEMS器件的可靠性, 包括壓力傳感器可靠性, 慣性傳感器可靠性, RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性.
ISBN:
9787564115753
MEMS可靠性
T
MEMS可靠性
[電子書] / (日本) O. Tabata, T. Tsuchiya著 ; 宋競 ... [等]譯 - 南京 : 東南大學出版社, 2009.
ISBN 9787564115753
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本書分為兩部份. 第一部份論述MEMS材料的可靠性內容及主要表徵方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微納壓痕儀, 鼓脹測試, 彎曲測試, 單軸張應力測試, 片上測試; 第二部份論述MEMS器件的可靠性, 包括壓力傳感器可靠性, 慣性傳感器可靠性, RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性.
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