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Extreme ultraviolet lithography /
~
Kumar, Ajay, (1962-.)
Extreme ultraviolet lithography /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
Extreme ultraviolet lithography // [edited by] Banqiu Wu, Ajay Kumar.
其他作者:
Wu, Banqiu.
出版者:
New York :McGraw-Hill, : c2009.,
面頁冊數:
xiv, 465 p. :ill. ; : 24 cm.;
標題:
Extreme ultraviolet lithography. -
ISBN:
9780071549189 (Cloth) :
Extreme ultraviolet lithography /
Extreme ultraviolet lithography /
[edited by] Banqiu Wu, Ajay Kumar. - New York :McGraw-Hill,c2009. - xiv, 465 p. :ill. ;24 cm.
Includes bibliographical references and index.
ISBN: 9780071549189 (Cloth) :NT3768
LCCN: 2009002187Subjects--Topical Terms:
795569
Extreme ultraviolet lithography.
LC Class. No.: TK7872.M3 / E987 2009
Dewey Class. No.: 621.3815/31
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圖書館3F 書庫
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E036577
圖書館3F 書庫
一般圖書(BOOK)
一般圖書
621.381531 E96 2009
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