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以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之...

阮文海

以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之研究 = = Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之研究 =/ 阮文海撰.
Reminder of title:	Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD /
remainder title:	Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD.
Author:	阮文海
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民101.11.,
Description:	[17] ,89面 :圖 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授：魏進忠.
Subject:	PECVD. -
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1701201311040900

以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之研究 = = Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD /
阮文海

以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之研究 =Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD /Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD.阮文海撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民101.11. - [17] ,89面 :圖 ;30公分.

指導教授：魏進忠.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

996144
PECVD.

以PECVD製程製備SiNxHy與SiO2探討在不同生醫基材的機械性質之研究 = = Mechanical Properties Study of SiNxHy and SiO2 on Different Bio-substrates Prepared with PECVD /
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