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六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = = Development o...

莊國元

六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = = Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = / 莊國元撰.
其他題名:	Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage /
其他題名:	Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage
作者:	莊國元
出版者:	雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , : 民101[2012],
面頁冊數:	108面 : 圖 ; : 30公分;
附註:	指導教授：鄭旭志,劉建宏
標題:	laser measurement -
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1308201220513200

六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = = Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage /
莊國元

六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage / Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage莊國元撰. - 初版 - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , 民101[2012] - 108面 : 圖 ; 30公分

指導教授：鄭旭志,劉建宏

含參考書目Subjects--Topical Terms:

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laser measurement

六自由度壓電微動平臺量測系統開發 = = Development of A Six-DOF Measurement System for Piezoelectric Micro-Stage /
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500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
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