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物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = M...

張朝翔

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 =/ 張朝翔撰.
其他題名:	Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
其他題名:	Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process.
作者:	張朝翔
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民103.07.,
面頁冊數:	[9], 64面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授：張銀祐.
標題:	類鑽碳. -
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2608201416431900

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
張朝翔

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 =Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process.張朝翔撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民103.07. - [9], 64面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授：張銀祐.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

1025443
類鑽碳.

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
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500 $a 指導教授：張銀祐.
500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與電腦輔助工程系碩士班.
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650 # 4 $a 含鉻非晶碳. $3 1025442
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