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佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 = = In...

洪程彥

佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 = = Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 =/ 洪程彥撰.
其他題名:	Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering /
其他題名:	Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering.
作者:	洪程彥
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民104.01.,
面頁冊數:	[10], 112面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授：蔡丕椿,張奇龍.
標題:	高功率脈衝磁控濺鍍. -
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2901201509564500

佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 = = Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering /
洪程彥

佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 =Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering /Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering.洪程彥撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民104.01. - [10], 112面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授：蔡丕椿,張奇龍.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

1026675
高功率脈衝磁控濺鍍.

佔空比對高攻率脈衝磁控濺鍍氮化鈦鋁薄膜顯微結構與性質之影響 = = Influence of Duty Cycle on Microstructure and Properties of TiAlN Films Synthesized by High Power Impulse Magnetron Sputtering /
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500 $a 指導教授：蔡丕椿,張奇龍.
500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與綠色能源工程研究所.
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