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矽材料檢測技術
~
康偉超
矽材料檢測技術
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
矽材料檢測技術/ 康偉超, 王麗.
作者:
康偉超
其他作者:
王麗
出版者:
北京市 :化學工業出版社, : 2009.,
面頁冊數:
線上資源(1冊)
附註:
Title from title screen.
標題:
半導體 -
電子資源:
點擊此處查看電子書
ISBN:
9787122055682
矽材料檢測技術
康偉超
矽材料檢測技術
[電子資源] /康偉超, 王麗. - 北京市 :化學工業出版社,2009. - 線上資源(1冊)
Title from title screen.
本書主要介紹了半導體矽材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、矽單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的製備及高純分析方法。
Text (Electronic book)
Electronic reproduction.
Beijing :
ApabiDlib,
2004.
System requirements: Apabi Reader.
Mode of access: World Wide Web.
ISBN: 9787122055682Subjects--Topical Terms:
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半導體
矽材料檢測技術
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本書主要介紹了半導體矽材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、矽單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的製備及高純分析方法。
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