國立虎尾科技大學 |

登入

回首頁

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a ...

劉達浩

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	三自由度壓電式高精度對位平台 =/ 劉達浩撰.
其他題名:	Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
其他題名:	Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF.
作者:	劉達浩
出版者:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民104.07.,
面頁冊數:	[13], 74面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授：何信璋,覺文郁.
標題:	Precise Alignment. -
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1808201515345900

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
劉達浩

三自由度壓電式高精度對位平台 =Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF.劉達浩撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民104.07. - [13], 74面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授：何信璋,覺文郁.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

1252561
Precise Alignment.

三自由度壓電式高精度對位平台 = = Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF /
LDR:00785nam a2200181 i 450 001 822625
008 151007s2015 xx ak erm 000 0 chi d
040 $a NFU $b chi $c NFU $e CCR
041 0 # $a chi $b chi $b eng
084 $a 008.157M $b 7233 104 $2 ncsclt
100 1 $a 劉達浩 $q (Da-Hao Liou) $3 1043429
245 1 0 $a 三自由度壓電式高精度對位平台 = $b Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF / $c 劉達浩撰.
246 3 1 $a Development of a Piezo Precision Alignment Stage with 3-DOF.
250 $a 初版.
260 # $a 雲林縣 : $b 國立虎尾科技大學 , $c 民104.07.
300 $a [13], 74面 : $b 圖, 表 ; $c 30公分.
500 $a 指導教授：何信璋,覺文郁.
500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學自動化工程系碩士班.
504 $a 含參考書目.
650 # 4 $a Precise Alignment. $3 1252561
650 # 4 $a Image Processing. $3 669795
650 # 4 $a Dual-CCD. $3 1252560
650 # 4 $a Piezo-stage. $3 1252559
650 # 4 $a PZT. $3 1050005
650 # 4 $a 高精度對位. $3 1252558
650 # 4 $a 影像處理. $2 lcstt $3 982478
650 # 4 $a 雙CCD. $3 1252557
650 # 4 $a 微動平台. $3 1252556
650 # 4 $a 壓電致動器. $3 1099902
856 4 # $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-1808201515345900