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多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = ...

呂紹楷

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = / 呂紹楷撰.
其他題名:	A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
其他題名:	A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage.
作者:	呂紹楷
出版者:	雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , : 民104.07.,
面頁冊數:	[11], 76面 : 圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授：劉代山.
標題:	氮氧化矽. -
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-3107201517041400

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
呂紹楷

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage / A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage.呂紹楷撰. - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學 , 民104.07. - [11], 76面 : 圖, 表 ; 30公分.

指導教授：劉代山.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

998643
氮氧化矽.

多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
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500 $a 指導教授：劉代山.
500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所.
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650 # 4 $a 階梯覆蓋率. $3 1045683
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