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集成電路製造技術 = 原理與工藝 /
~
田麗
集成電路製造技術 = 原理與工藝 /
Record Type:
Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:
集成電路製造技術/ 王蔚,田麗,任明遠著
Reminder of title:
原理與工藝 /
Author:
王蔚
other author:
田麗
Published:
北京 : 電子工業出版社, : 2015,
Notes:
北大方正電子書
Subject:
電路 -
Online resource:
點擊此處查看電子書
ISBN:
9787121206801
集成電路製造技術 = 原理與工藝 /
王蔚
集成電路製造技術
原理與工藝 / [電子書] : 王蔚,田麗,任明遠著 - 修訂版 - 北京 : 電子工業出版社, 2015
北大方正電子書
本書分5個單元系統地介紹了當前矽集成電路製造普遍採用的工藝技術。第1單元介紹矽襯底，主要介紹矽單晶的結構特點，單晶矽錠的拉制，矽片（包含體矽片和外延矽片）的製造工藝及相關理論。第2-5單元介紹矽芯片製造基本單項工藝（氧化與摻雜、薄膜製備、光刻、工藝集成與封裝測試）的原理、方法、設備，以及所依託的技術基礎及發展趨勢。
借閱需要下載並安裝APABIReader閱讀電子圖書
ISBN: 9787121206801
Source: m.20151206-XRT-902-0619Subjects--Topical Terms:
820723
電路
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本書分5個單元系統地介紹了當前矽集成電路製造普遍採用的工藝技術。第1單元介紹矽襯底，主要介紹矽單晶的結構特點，單晶矽錠的拉制，矽片（包含體矽片和外延矽片）的製造工藝及相關理論。第2-5單元介紹矽芯片製造基本單項工藝（氧化與摻雜、薄膜製備、光刻、工藝集成與封裝測試）的原理、方法、設備，以及所依託的技術基礎及發展趨勢。
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電路
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田麗
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著
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