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CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 = = Optical and ...

陳俊瑋

CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 = = Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 =/ 陳俊瑋.
其他題名:	Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films /
其他題名:	Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films.
作者:	陳俊瑋
出版者:	雲林縣:國立虎尾科技大學, : 民107.07.,
面頁冊數:	[11], 58 面 :圖, 表 ; : 30公分.;
附註:	指導教授: 蔡定侃.
標題:	反應式磁控濺鍍. -
電子資源:	電子資源

CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 = = Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films /
陳俊瑋

CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 =Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films /Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films.陳俊瑋. - 初版. - 雲林縣:國立虎尾科技大學,民107.07. - [11], 58 面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 蔡定侃.

碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1015054
反應式磁控濺鍍.

CrSiN薄膜之光學、電性及熱穩定研究 = = Optical and electrical properties and thermal stability of CrSiN films /
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500 $a 指導教授: 蔡定侃.
500 $a 學年度: 106.
502 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班.
504 $a 含參考書目.
563 $a (平裝).
650 # 4 $a 反應式磁控濺鍍. $3 1015054
650 # 4 $a 熱穩定性. $3 1011296
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650 # 4 $a CrSiN. $3 1150761
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