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陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 = ...

張詠傑

陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 = = Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 =/ 張詠傑.
Reminder of title:	Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings /
remainder title:	Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings.
Author:	張詠傑
Published:	雲林縣:國立虎尾科技大學, : 民107.07.,
Description:	[12], 65 面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授: 張銀祐.
Subject:	AlTiN. -
Online resource:	電子資源

陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 = = Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings /
張詠傑

陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 =Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings /Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings.張詠傑. - 初版. - 雲林縣:國立虎尾科技大學,民107.07. - [12], 65 面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授: 張銀祐.

碩士論文--國立虎尾科技大學機械與電腦輔助工程系碩士班.

含參考書目.

(平裝).Subjects--Topical Terms:

1153527
AlTiN.

陰極電弧系統之新型電磁控弧源設計與沉積氮化鋁鈦硬質薄膜機械性質研究 = = Electric Magnetron Arc Source Design of Cathodic Arc Evaporation and Deposition of AlTiN Hard Coatings /
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