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物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = M...

張朝翔

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 =/ 張朝翔撰.
Reminder of title:	Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
remainder title:	Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process.
Author:	張朝翔
Published:	雲林縣 :國立虎尾科技大學 , : 民103.07.,
Description:	[9], 64面 :圖, 表 ; : 30公分.;
Notes:	指導教授：張銀祐.
Subject:	類鑽碳. -
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2608201416431900

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
張朝翔

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 =Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process.張朝翔撰. - 初版. - 雲林縣 :國立虎尾科技大學 ,民103.07. - [9], 64面 :圖, 表 ;30公分.

指導教授：張銀祐.

含參考書目.Subjects--Topical Terms:

1025443
類鑽碳.

物理氣相與化學氣相沉積類鑽碳薄膜之微結構、機械性質與腐蝕研究 = = Mechancical Properties and Corrosion of DLC Films by PVD and PECVD Process /
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500 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學機械與電腦輔助工程系碩士班.
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