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Mikrosystemtechnik = Vom Transistor ...
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SpringerLink (Online service)
Mikrosystemtechnik = Vom Transistor zum Biochip /
Record Type:
Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:
Mikrosystemtechnik/ von Stephanus Büttgenbach.
Reminder of title:
Vom Transistor zum Biochip /
Author:
Büttgenbach, Stephanus.
Description:
VIII, 151 S. 52 Abb.online resource. :
Contained By:
Springer Nature eBook
Subject:
Technology. -
Online resource:
https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9
ISBN:
9783662497739
Mikrosystemtechnik = Vom Transistor zum Biochip /
Büttgenbach, Stephanus.
Mikrosystemtechnik
Vom Transistor zum Biochip /[electronic resource] :von Stephanus Büttgenbach. - 1st ed. 2016. - VIII, 151 S. 52 Abb.online resource. - Technik im Fokus,2194-0770. - Technik im Fokus,.
Einleitung -- Transistor und Halbleitertechnik -- Piezoresistiver Effekt -- Bulk Micromachining -- LIGA-Verfahren -- Surface Micromachining -- Atomic Force Microscope (AFM) -- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern -- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept -- Deep Reactive Ion Etching (DRIE) -- Soft-Lithografie -- Die Zukunft.
Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.
ISBN: 9783662497739
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Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.
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