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書目資訊
主題
electrical characterization.
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作品:
1 作品在 1 項出版品 1 種語言
書目資訊
利用電漿增強化學氣相沉積法製備氫化碳氧化矽薄膜之研究 = = Study on the Preparation of Hydrogenated Silicon Oxy-Carbon Films Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition /
by:
(書目-語言資料,印刷品)
主題
旋塗塗佈法.
PECVD.
高頻電漿增強化學氣相沉積法.
致孔劑.
奈米球.
high temperature annealing furnace.
electrical characterization.
porogenic agents.
nanospheres.
高溫退火爐.
thermal stability.
amorphous hydrogenated silicon carbide films.
spin coating method.
熱穩定性.
表面粗糙度.
surface roughness.
電特性分析.
非晶氫化碳氧化矽薄膜.
處理中
...
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