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主題
陳順祺
概要
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1 作品在 1 項出版品 1 種語言
書目資訊
氣體阻障層製備於具有連續沉積-蝕刻有機矽基覆蓋之圖案化表面之研究 = = A Study on the Preparation of a Gas Barrier Coated on Patterned Surface Coveraged by Organosilicon Film Using Consecutive Deposition-Etching Process /
by: 陳順祺
(書目-語言資料,印刷品)
主題
inorganic silicon oxynitride.
organosilicon.
over-cut patterned.
plasma enhanced chemical vapor deposition.
plasma etching.
step coverage.
under-cut patterned.
water vapor permeability.
底切圖案化.
有機矽基薄膜.
水氣滲透率.
無機氮氧化矽.
階梯覆蓋性.
電漿增強化學氣相沉積.
電漿蝕刻.
頂切圖案化.
處理中
...
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