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主題
林昇賦
概要
作品:
2 作品在 1 項出版品 1 種語言
書目資訊
氣體阻障層結構具底切圖案化光阻表面覆蓋性及機械撓曲特性之研究 = = A Study on the Step Coverage and Mechanical Flexibility of the Gas Barrier Structure deposited onto the Photoresist Surface with Undercut Pattern /
by: 林昇賦
(書目-語言資料,印刷品)
主題
bending reliability.
inorganic silicon oxynitride.
organosilicon.
plasma enhanced chemical vapor deposition.
silicon oxide.
step coverage.
under-cut patterned.
water vapor permeability.
二氧化矽.
底切圖案化.
撓曲測試.
有機矽基薄膜.
水氣滲透率.
無機氮氧化矽.
階梯覆蓋性.
電漿增強化學氣相沉積法.
處理中
...
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