語系
柯銘禮
概要
| 作品: | 1 作品在 1 項出版品 1 種語言 | |
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書目資訊
反應性濺鍍製備Ta-Co-N三元合金薄膜與銅金屬化製程整合特性探討 = Evaluation of Ternary Alloy TaCoN Thin Films Deposited by Reactive Sputtering for Copper Metallization
by:
柯銘禮; 方昭訓; Jau-Shiung Fang
(書目-語言資料,印刷品)