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邱敬富
概要
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書目資訊
超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization
by:
邱敬富; Jau-Shiung Fang; 方昭訓; Chin-Fu Chiu
(書目-語言資料,印刷品)