國立虎尾科技大學 |

登入

回首頁

超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathi...

邱敬富

超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization
作者:	邱敬富,
其他作者:	方昭訓,
出版地:	雲林縣
出版者:	國立虎尾科技大學;
出版年:	民97[2008]
版本:	初版
面頁冊數:	200面圖 : 30公分;
標題:	擴散阻礙層
標題:	碳
標題:	鉭矽化物
標題:	銅製程
標題:	非晶質薄膜
標題:	Carbon
標題:	Copper metallization
標題:	TaSi2
標題:	amorphous films
標題:	diffusion barrier
電子資源:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2907200813062300

超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization
邱, 敬富

超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization / 邱敬富撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民97[2008]. - 200面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
擴散阻礙層碳鉭矽化物銅製程非晶質薄膜CarbonCopper metallizationTaSi2amorphous filmsdiffusion barrier

方, 昭訓

超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 = Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization
LDR:01223nam0 2200337 450 001 549193
010 0 $b 平裝
100 $a 20090331h akaa0chia50020302ba
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a 超薄Ta-Si-C 非晶質擴散阻障層銅製程特性探討 $d Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization $f 邱敬富撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民97[2008] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 200面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 方昭訓
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
510 1 $a Ultrathin ta-si-c amorphous films as a diffusion barrier for copper metallization
610 0 $a 擴散阻礙層
610 0 $a 碳
610 0 $a 鉭矽化物
610 0 $a 銅製程
610 0 $a 非晶質薄膜
610 1 $a Carbon
610 1 $a Copper metallization
610 1 $a TaSi2
610 1 $a amorphous films
610 1 $a diffusion barrier
681 $a 008.166M $b 7743
700 $a 邱 $b 敬富 $3 533851
702 $a 方 $b 昭訓 $3 487549
770 $a Chin-Fu Chiu $3 533852
772 $a Jau-Shiung Fang $3 538184
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081111
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081224
856 4 $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2907200813062300