語系
李文菁
概要
作品: | 1 作品在 1 項出版品 1 種語言 |
---|
書目資訊
5 nm之Ru-(Ta)-B擴散阻障層與銅製程特性 = 5 nm of Ru-(Ta)-B diffusion barrier layer and copper processing characteristics
by:
Wen-Jing Li; 李文菁; 方昭訓; Jau-Shiun Fang
(書目-語言資料,印刷品)