語系
黃孟碩
概要
| 作品: | 1 作品在 1 項出版品 1 種語言 | |
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書目資訊
雙層超薄Ru/Ta-Si-C擴散阻障層與銅連導線製程特性探討 = Properties of Ultrathin Ru/TaSiC Bi-Layer Diffusion Barrier for Cu Interconnects
by:
Jau-Shiung Fang; Meng-Shuo Huang; 方昭訓; 黃孟碩
(書目-語言資料,印刷品)