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自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 = Improvement ...

陳佑慈

自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 = Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film
Author:	陳佑慈,
Secondary Intellectual Responsibility:	方昭訓,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民97[2008]
Edition:	初版
Description:	131面圖 : 30公分;
Subject:	低電阻率
Subject:	磁控濺鍍
Subject:	自我鈍化
Subject:	銅鉿合金薄膜
Subject:	附著性
Subject:	Cu(Hf) alloy thin film
Subject:	Thin-film transistor
Subject:	adhesion
Subject:	co-sputtering
Subject:	low resistivity
Subject:	self-passivation
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2407200813322000

自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 = Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film
陳, 佑慈

自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 = Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film / 陳佑慈撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民97[2008]. - 131面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
低電阻率磁控濺鍍自我鈍化銅鉿合金薄膜附著性Cu(Hf) alloy thin filmThin-film transistoradhesionco-sputteringlow resistivityself-passivation

方, 昭訓

自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 = Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film
LDR:01312nam0 2200349 450 001 549222
010 0 $b 平裝
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102 $a tw
200 1 $a 自我鈍化型銅鉿合金薄膜之抗氧化性及電性研究 $d Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film $f 陳佑慈撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民97[2008] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 131面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 方昭訓
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與綠色能源工程研究所
510 1 $a Improvement of against oxidation and electrical properties of passivated cu(hf) thin film
610 0 $a 低電阻率
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610 0 $a 自我鈍化
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610 1 $a adhesion
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801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081111
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20081231
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