語系:
繁體中文
English
說明(常見問題)
登入
回首頁
切換:
標籤
|
MARC模式
|
ISBD
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究 = Barrier p...
~
黃智祥
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究 = Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:
Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
作者:
黃智祥,
其他作者:
方昭訓,
出版地:
雲林縣
出版者:
國立虎尾科技大學;
出版年:
民97[2008]
版本:
初版
面頁冊數:
122面圖 : 30公分;
標題:
共濺鍍法
標題:
合金薄膜
標題:
擴散阻障層
標題:
氮化鉿
標題:
Cu(Hf) alloy films
標題:
HfN
標題:
co-sputter
標題:
diffusion barrier
電子資源:
http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2407200813220700
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究 = Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
黃, 智祥
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究
= Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films / 黃智祥撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民97[2008]. - 122面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
共濺鍍法合金薄膜擴散阻障層氮化鉿Cu(Hf) alloy filmsHfNco-sputterdiffusion barrier
方, 昭訓
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究 = Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
LDR
:01113nam0 2200313 450
001
549225
010
0
$b
平裝
100
$a
20090331h akaa0chia50020302ba
101
0
$a
chi
$d
chi
$d
eng
102
$a
tw
200
1
$a
共濺鍍製備Cu1-xHfx薄膜擴散阻礙特性之研究
$d
Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
$f
黃智祥撰
205
$a
初版
210
$a
雲林縣
$d
民97[2008]
$c
國立虎尾科技大學
215
0
$a
122面
$c
圖
$d
30公分
314
$a
指導教授 : 方昭訓
320
$a
含參考書目
328
$a
碩士論文--國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所
510
1
$a
Barrier properties of co-sputtering cu1-xhfx thin films
610
0
$a
共濺鍍法
610
0
$a
合金薄膜
610
0
$a
擴散阻障層
610
0
$a
氮化鉿
610
1
$a
Cu(Hf) alloy films
610
1
$a
HfN
610
1
$a
co-sputter
610
1
$a
diffusion barrier
681
$a
008.166M
$b
4483
700
$a
黃
$b
智祥
$3
533909
702
$a
方
$b
昭訓
$3
487549
770
$a
Chih-Hsiang Huang
$3
533910
772
$a
Jau-Shiung Fang
$3
538184
801
0
$a
tw
$b
國立虎尾科技大學圖書館
$c
20081111
801
1
$a
tw
$b
國立虎尾科技大學圖書館
$c
20081223
856
4
$u
http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-2407200813220700
筆 0 讀者評論
全部
圖書館B1F 博碩士論文專區
圖書館B1F 可外借論文區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
T000482
圖書館B1F 博碩士論文專區
不流通(NON_CIR)
碩士論文(TM)
008.166M 4483 97 1
一般使用(Normal)
在架
0
T000483
圖書館B1F 可外借論文區
不流通(NON_CIR)
一般圖書
008.166M 4483 97 2
一般使用(Normal)
在架
0
2 筆 • 頁數 1 •
1
多媒體
評論
新增評論
分享你的心得
Export
取書館別
處理中
...
變更密碼[密碼必須為2種組合(英文和數字)及長度為10碼以上]
登入