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Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 = Character...

Tzu-Yu Wang

Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection
Author:	王梓育,
Secondary Intellectual Responsibility:	方昭訓,
Place of Publication:	雲林縣
Published:	國立虎尾科技大學;
Year of Publication:	民99[2010]
Edition:	初版
Description:	252面圖 : 30公分;
Subject:	磁控共濺鍍
Subject:	銅鈷氮合金薄膜
Subject:	氮化鈷
Subject:	阻障層
Subject:	reactive magnetron co-sputter
Subject:	Cu(CoN) alloy thin film
Subject:	cobalt nitrides
Subject:	diffusion barrier
Online resource:	http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-0608201015531500

Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection
王, 梓育

Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection / 王梓育撰 - 初版. - 雲林縣 : 國立虎尾科技大學, 民99[2010]. - 252面 ; 圖 ; 30公分.
含參考書目.
磁控共濺鍍銅鈷氮合金薄膜氮化鈷阻障層reactive magnetron co-sputterCu(CoN) alloy thin filmcobalt nitridesdiffusion barrier

方, 昭訓

Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 = Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection
LDR:01223nam0 2200325 450 001 649133
005 20110103144624.0
010 0 $b 平裝
100 $a 20101001d m y0chib
101 0 $a chi $d chi $d eng
102 $a tw
200 1 $a Cu(CoN)與CoN薄膜應用於銅製程之特性研究 $d Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection $f 王梓育撰
205 $a 初版
210 $a 雲林縣 $d 民99[2010] $c 國立虎尾科技大學
215 0 $a 252面 $c 圖 $d 30公分
314 $a 指導教授 : 方昭訓
320 $a 含參考書目
328 $a 碩士論文--國立虎尾科技大學材料科學與綠色能源工程研究所
510 1 $a Characteristics of Cu(CoN) Film and CoN Film on Copper Interconnection
610 # 0 $a 磁控共濺鍍
610 # 0 $a 銅鈷氮合金薄膜
610 # 0 $a 氮化鈷
610 # 0 $a 阻障層
610 # 1 $a reactive magnetron co-sputter
610 # 1 $a Cu(CoN) alloy thin film
610 # 1 $a cobalt nitrides
610 # 1 $a diffusion barrier
681 $a 008.152M $b 1043
700 1 $a 王 $b 梓育 $3 719004
702 1 $a 方 $b 昭訓 $3 487549
770 1 $a Tzu-Yu Wang $3 718167
772 0 $a Jau-Shiung Fang $3 538184
801 0 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20100914
801 1 $a tw $b 國立虎尾科技大學圖書館 $c 20101203
856 4 # $u http://cetd.lib.nfu.edu.tw/etdservice/view_metadata?etdun=U0028-0608201015531500