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主題
呂紹楷
概要
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書目資訊
多層堆疊有機矽基/氮氧化矽氣體阻障層改善水氣滲透及薄膜覆蓋性之研究 = = A Study on Organosilicon / Silicon Oxynitride Multilayered Barrier Structures to Improve Water Vapor Permeability and Step Coverage /
by: 呂紹楷
(書目-語言資料,印刷品)
主題
氮氧化矽.
電漿增強化學氣相沉積.
PECVD.
階梯覆蓋率.
WVTR.
calcium test.
鈣測法.
SiOxNy.
水氣滲透率.
step coverage.
處理中
...
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