Multi-wafer rotating MEMS machines =...
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  • Multi-wafer rotating MEMS machines = turbines, generators, and engines /
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
    正題名/作者: Multi-wafer rotating MEMS machines/ edited by Jeffrey H. Lang.
    其他題名: turbines, generators, and engines /
    其他作者: Lang, Jeffrey H.
    出版者: Boston, MA :Springer-Verlag US, : 2009.,
    面頁冊數: xiii, 456 p. :ill., digital ; : 25 cm.;
    叢書名: MEMS reference shelf,
    Contained By: Springer eBooks
    標題: Microelectromechanical systems. -
    電子資源: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-77747-4
    ISBN: 9780387777474 (electronic bk.)
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